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臭氧氣體輸送系統(tǒng)

臭氧氣體輸送系統(tǒng)，可產生超純、可靠的臭氧氣體。在清潔的半導體環(huán)境中，借助臭氧氣體反應實現(xiàn)原子層沉積 (ALD) 和蝕刻 (ALE) 等薄膜沉積工藝。高純度、高濃度臭氧氣體能夠產生更高的薄膜密度，從而提高產品產量、產品性能和可靠性。

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產品特點

臭氧濃度高

氣體流量高

采用超純發(fā)生技術

無氮氣摻加技術

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    相關設備進行升級改造

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