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電子級超純臭氧氣體發(fā)生器

采用高濃度、超純凈、深度精細工藝的臭氧實現(xiàn)技術是該發(fā)生器實現(xiàn)的基礎。臭氧被電子工業(yè)用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生長、光刻膠去除和多種清潔應用。
GTC發(fā)生器能夠產(chǎn)生高濃度、大量流量、高壓力的超潔凈臭氧,整體模塊化,結(jié)構緊湊,簡潔、可視化外觀。

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產(chǎn)品特點

臭氧濃度高

臭氧輸出壓力高

氣體流量高

采用超純臭氧發(fā)生技術

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